Xitoyning SMEE kompaniyasi quruq litografiya uskunalarining yangi avlodini taqdim etdi

Shanghai Microelectronics Equipment (SMEE) kompaniyasi 9-Xitoy xalqaro import körgazmasida öz işlanmasi bölgan quruq litografiya tizimlarining yangi avlodini namoyiş etdi. MyDrivers naşri xabar berişiça, bu Xitoyning yarimötkazgiç işlab çiqariş uskunalari böyiça importni mahalliy mahsulot bilan almaştiriş dasturidagi navbatdagi qadam hisoblanadi.

Yangi platforma kompaniyaning standartlaştirilgan arxitekturasiga asoslangan va ikki texnologik jarayon – I-line hamda KrF ni qöllab-quvvatlaydi. SMEE ma’lumotlariga köra, kompaniya yuqori aniqlikdagi optika, plastina va fotoniqobni pozitsiyalaş mexanizmlari hamda materiallarni avtomatik uzatiş tizimlari kabi asosiy komponentlarni işlab çiqiş va yetkazib beriş jarayonini töliq nazorat qiladi.

Işlab çiqaruvçining ta’kidlaşiça, uskunalar sifati yetakçi xorijiy analoglar bilan taqqoslasa böladigan darajada, qatlamlarni ust-ustiga tuşiriş aniqligi va unumdorligi esa xalqaro darajaga yaqinlaşmoqda. Kompaniya tizimlar turli jarayonlarda barqaror işlaşini va işlab çiqariş liniyalarida uzoq muddat foydalaniş uçun mös kelişini ham qayd etdi.

Xabar qilinişiça, uşbu uskunalar Xitoydagi mantiqiy çiplar va xotira çiplari işlab çiqaradigan zavodlarda allaqaçon qöllanilmoqda. Ular yordamida jami 10 milliondan ortiq kremniy plastina qayta işlangan, uskunalardan samarali foydalaniş darajasi esa 92 foizdan oşgan.

SMEE 2002-yilda taşkil etilgan. Kompaniya Xitoyda quruq litografiya uskunalarini seriyali işlab çiqarib, yetkazib bera oladigan yagona işlab çiqaruvçi sifatida taqdim etiladi.